ESC（静电吸盘）_深圳市圣柏林橡塑电子有限公司

ESC（静电吸盘）

ESC是Etcher设备的核心部分，Etcher设备是半导体刻蚀工艺
设备。我们拥有能够
与主要半导体设备公司共同开发以及ESC本地化的经验和技术水平。
由于我们拥有使用MLC和热压机的原始制造技术，我们开发、
制造和供应ESC以满足各种客户的需求。

* 连接到半导体工艺过程中蚀刻过程中使用的蚀刻设备腔室中的消耗部件。它以恒定的功率固定并固定晶圆
。

1.多层陶瓷（MLC）电调

多层陶瓷电调

2. 高性能热压（HP）电调

高纯度ESC 高纯度 ESC 图像

高介电常数电调 高介电常数 ESC 图像

3. 圣柏林电调的陶瓷材料特性

等级	特征	密度（克/立方厘米）	介电常数	体积电阻率（Ω·cm）	导热系数（W/(m*K)）	维氏硬度（HV）
MLA	多层电极	≥3.8	10	≥1E16	24	≥1350
羟丙酸	高纯陶瓷	≥3.95	10	≥1E16	33	≥1800
HDA	高介电常数	≥3.9	14	≥1E15	30	≥2000

列表