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晶圆加热盘-可定制

加热器类型加热板标准选项 1:尺寸 基座加热器有 4 种不同的标准尺寸:100 毫米、200 毫米、300 毫米也可以根据客户的规格制造不同的尺寸和形状对于新的加热器询价,请注明:-形状:矩形、圆形或其他-尺寸:长 x 长 x 厚、直径 x 厚或其他机械要求3 区加热器,带 3 个嵌入式热电偶,直径 25 英寸,厚度 0.75 英寸300mm 加热器200mm方形加热器标准选项 2:加热元件和传

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加热器类型

加热板标准选项 1:尺寸

 
  • 基座加热器有 4 种不同的标准尺寸:100 毫米、200 毫米、300 毫米

  • 也可以根据客户的规格制造不同的尺寸和形状

  • 对于新的加热器询价,请注明:

-形状:矩形、圆形或其他

-尺寸:长 x 长 x 厚、直径 x 厚或其他机械要求

 
带 3 个嵌入式 T.C 的 3 区加热器

3 区加热器,带 3 个嵌入式热电偶,直径 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加热器

300mm 加热器

200mm方形加热器

200mm方形加热器

标准选项 2:加热元件和传感元件

 

  • 使用不同类型的加热和传感元件来满足您的应用需求:

    • 直径为 0.250 - 375 英寸的管状加热器。

    • 直径范围从 .062 到 .188 的柔性矿物绝缘电缆

    • 可以在内部嵌入热电偶和 RTD,以监测和控制每个区域的功率输出。

  • 对于新的加热器询价,请说明

    • 瓦数

    • 工作电压

    • 加热元件或区域的数量,传感元件的数量

    • 工作温度和最高温度

    • 热均匀性要求

 
带 3 个嵌入式 T.C 的 3 区加热器 25

3 区加热器,带 3 个嵌入式热电偶,直径 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加热器

300mm 加热器

200mm方形加热器

200mm方形加热器

标准选项 3:材料选择

 

  • 我们的加热器可以由不同的材料制成。最常见的是铝、不锈钢和铜。

  • 双金属加热器也可根据要求制造

  • 对于新的加热器询价,请说明

- 材质:铝、不锈钢、铜、异种金属或其他

- 特殊表面处理:阳极氧化、打磨、研磨、特殊涂层

 
带阳极氧化表面的铝加热器

带有阳极氧化表面的大型铝加热器,可改善辐射传热

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

 

标准选项 4:

常见包括:

 

  • 铁氟龙或聚酰亚胺导线
  • 真空密封用托尔管
  • 立管
  • 波纹管、双金属片和托尔管的组合
 
大型铝制加热器

带有阳极氧化表面的大型铝加热器,可改善辐射传热

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

 

特别选项

特殊选项包括但不限于:
  • 嵌入式冷却通道
  • 嵌入式气路
  • 使用 PyrAlloy(又名 TPG 或热解石墨)提高热均匀性
  • 我们协助您进行设计以及按图制造
  • 热建模可用
 
带阳极氧化表面的铝加热器

带有阳极氧化表面的大型铝加热器,可改善辐射传热

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器

查询零件号

 

查询零件号
一个 

圣柏林-x 加热器的扩展功能

 

模拟:
- 使用 COMSOL Multiphysics® 和 Autodesk Nastran,对每个设计进行仿真以预测热行为和机械行为
测试:
- 带有热图像、热电偶晶片和光学传感的指定真空室可用于验证每个加热器的性能
校准实验室:
- 内部校准实验室确保所有传感元件都在公差范围内
质量控制:
- 设备齐全的电气测试室,确保满足所有电气要求,即 GFI、泄漏、电阻……
- 利用统计过程控制软件 (JMP®) 确保每个制造过程都在其控制范围内
- 可使用多坐标测量机 (CMM) 确保满足所有机械尺寸
炉和多轴机器:
- 用于钎焊的真空炉和氢气炉
- 可以创建复杂几何零件的多轴 CNC 机器。
- 用于高重复焊接的自动 MIG 焊机
定制真空馈通:
- 用于通过真空室传输功率的陶瓷金属接头
- 复杂腔室的定制馈通
- 连接不同金属的双金属材料

可以使用 COMSOL Multiphysics® 预测热行为和热应力
加热器的热均匀性

加热器的热均匀性

加热器的热应力

加热器的热应力

真空试验箱

 

 

测试室可以在模拟过程中验证加热器的性能。各种气体、环境和过程变量用于模拟实际过程。

验证和测试服务:

  • 热成像
  • 光学传感
  • 热电偶晶片
  • 耐压温度
  • GFI 进行中
  • 性能测试
 
 
真空室
真空试验箱

TC 晶圆和热成像
测试室可以在模拟过程中验证加热器的性能。各种气体、环境和过程变量用于模拟实际过程。

验证和测试服务:

 

  • 热成像
  • 光学传感
  • 热电偶晶片
  • 耐压温度
  • GFI 进行中
  • 性能测试
300mm加热器

300mm 加热器的热图像

热电偶晶片

使用 17 点 TC 晶圆结果的加热器的热均匀性使用 JMP® 软件进行分析


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