加热器类型
加热板标准选项 1:尺寸
-
基座加热器有 4 种不同的标准尺寸:100 毫米、200 毫米、300 毫米
-
也可以根据客户的规格制造不同的尺寸和形状
-
对于新的加热器询价,请注明:
-形状:矩形、圆形或其他
-尺寸:长 x 长 x 厚、直径 x 厚或其他机械要求

3 区加热器,带 3 个嵌入式热电偶,直径 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加热器

200mm方形加热器
标准选项 2:加热元件和传感元件
-
使用不同类型的加热和传感元件来满足您的应用需求:
-
直径为 0.250 - 375 英寸的管状加热器。
-
直径范围从 .062 到 .188 的柔性矿物绝缘电缆
-
可以在内部嵌入热电偶和 RTD,以监测和控制每个区域的功率输出。
-
-
对于新的加热器询价,请说明
-
瓦数
-
工作电压
-
加热元件或区域的数量,传感元件的数量
-
工作温度和最高温度
-
热均匀性要求
-

3 区加热器,带 3 个嵌入式热电偶,直径 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加热器

200mm方形加热器
标准选项 3:材料选择
-
我们的加热器可以由不同的材料制成。最常见的是铝、不锈钢和铜。
-
双金属加热器也可根据要求制造
-
对于新的加热器询价,请说明
- 材质:铝、不锈钢、铜、异种金属或其他
- 特殊表面处理:阳极氧化、打磨、研磨、特殊涂层

带有阳极氧化表面的大型铝加热器,可改善辐射传热

带铜和不锈钢的加热器
标准选项 4:
常见包括:
- 铁氟龙或聚酰亚胺导线
- 真空密封用托尔管
- 立管
- 波纹管、双金属片和托尔管的组合

带有阳极氧化表面的大型铝加热器,可改善辐射传热

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器
特别选项
特殊选项包括但不限于:
- 嵌入式冷却通道
- 嵌入式气路
- 使用 PyrAlloy(又名 TPG 或热解石墨)提高热均匀性
- 我们协助您进行设计以及按图制造
- 热建模可用

带有阳极氧化表面的大型铝加热器,可改善辐射传热

带铜和不锈钢的加热器

带铜和不锈钢的加热器
查询零件号

圣柏林-x 加热器的扩展功能
- 模拟:
- - 使用 COMSOL Multiphysics® 和 Autodesk Nastran,对每个设计进行仿真以预测热行为和机械行为
- 测试:
- - 带有热图像、热电偶晶片和光学传感的指定真空室可用于验证每个加热器的性能
- 校准实验室:
- - 内部校准实验室确保所有传感元件都在公差范围内
- 质量控制:
- - 设备齐全的电气测试室,确保满足所有电气要求,即 GFI、泄漏、电阻……
- - 利用统计过程控制软件 (JMP®) 确保每个制造过程都在其控制范围内
- - 可使用多坐标测量机 (CMM) 确保满足所有机械尺寸
- 炉和多轴机器:
- - 用于钎焊的真空炉和氢气炉
- - 可以创建复杂几何零件的多轴 CNC 机器。
- - 用于高重复焊接的自动 MIG 焊机
- 定制真空馈通:
- - 用于通过真空室传输功率的陶瓷金属接头
- - 复杂腔室的定制馈通
- - 连接不同金属的双金属材料
可以使用 COMSOL Multiphysics® 预测热行为和热应力

加热器的热均匀性

加热器的热应力
真空试验箱
测试室可以在模拟过程中验证加热器的性能。各种气体、环境和过程变量用于模拟实际过程。
验证和测试服务:
- 热成像
- 光学传感
- 热电偶晶片
- 耐压温度
- GFI 进行中
- 性能测试


TC 晶圆和热成像
测试室可以在模拟过程中验证加热器的性能。各种气体、环境和过程变量用于模拟实际过程。
验证和测试服务:
- 热成像
- 光学传感
- 热电偶晶片
- 耐压温度
- GFI 进行中
- 性能测试

300mm 加热器的热图像

使用 17 点 TC 晶圆结果的加热器的热均匀性使用 JMP® 软件进行分析








客服1