圣柏林的专长是响应严格的规范，并使用矿物绝缘电缆设计定制的高性能热解决方案。
我们的工程专业知识、原型制作能力和我们对矿物绝缘电缆的了解使我们能够为客户提供独特的解决方案。
我们还能够开发包含我们的加热元件的复杂机械部件。
我们的优势在于我们通过工厂认证的“精确复制”在内部掌握所有这些流程，专门用于晶圆制造流程的 SEMICON 应用：高精度加工、焊接、焊接、测试和鉴定、控制……。
在过去的几个月里，圣柏林开发了一种创新、可靠和高效的解决方案来加热真空室内的系统。
该项目的挑战是在超高真空和高温腐蚀性环境中将两个必须集成到客户最终系统中的热系统结合起来。
我们必须开发的第一个热系统是一种盘绕在心轴上的加热元件
该解决方案很复杂，因为我们必须满足关键规格，例如：
• 加热器的限制和尺寸公差
• 800°C 的临界工作温度
• 实现 10% 的功率分布均匀性 – 多个加热区域设计有不同的功率密度
• 运行保证 > 5 年，在具有腐蚀性环境的超高真空中
我们设计了 6 个不同的概念并比较了这些解决方案，以便选择一个。
圣柏林选择了 EC 缠绕/钎焊在金属支架上的设计，该金属支架是根据特定工艺批量生产的。
取得的进展 – 取得的成果 – 所选解决方案的独创性
这种设计乍一看像加热筒，但其设计具有创新性，因为它通过 圣柏林开发的工艺将完全缠绕的加热元件集成在心轴中。
预期的性能和寿命结果在原型的鉴定阶段得到验证。
圣柏林的这种包罗万象的设计以其性能优势、低成本设计和长使用寿命性能面向许多领域。
第二个热系统是一个复杂的 3D 设计金属部件与高温加热元件的组件
需要解决的问题
能够组装具有苛刻尺寸规格和高达 800-900°C 工作温度的复杂金属。
该温度接近临界温度，特别是在规定使用寿命超过 5 年时。
我们必须解决复杂加工的问题。
还必须考虑加工引起的变形，以及焊接和钎焊过程引起的变形。
设计和制造方法完全由 圣柏林开发，以实现适用于大批量制造的可行设计，并将不符合尺寸或功能规格的风险降至最低。
我们研究了原材料 (304L)，并评估并选择了最具成本/质量/时间效益的材料。
对于我们评估的金属部件：全质量/锻造/铸造材料。
这些零件的另一个挑战是对它们的表面进行处理，以使真空室中的高腐蚀性液体不会粘附在它们上面。
经过大量研究和测试，我们确定了一种具有非常好的抗湿性能并可用于此类应用的物质。
还开展了验证最合适的沉积工艺（PVD 或 CVD）的工作。
我们最终选择了可在高达 600°C 下运行的最佳沉积解决方案。
客服1