购买用于 SU-8 烘烤的光刻热板时必须考虑什么？

在您的 SU-8 光刻过程中，热板的目的是加热您的光刻胶。但是根据所有设备的不同，这样做的方式可能会有所不同，每种设备都提供不同的选择，一些是非常需要的，而另一些只是为了让您的生活更简单。

我们对许多热板进行了比较。我们提供了从软光刻工艺的最佳解决方案中获益的可能性。请随时联系我们寻求建议。

光刻热板表面真实温度显示

重要的一点是检查实际温度是否与所需的设定点温度相同。因此，为确保 SU-8 光刻胶的受控烘烤，请优先使用实时显示测量温度的热板。我们注意到一些光刻热板有一个随时间漂移的温度传感器。由于这种温度漂移会降低过程的再现性，因此请检查热板的传感器技术。如果您不确定热板的温度随时间漂移，理想情况下，每月定期对热板的实际表面温度进行红外检查将确保您的 SU-8 光刻工艺可重现。

光刻热板的过冲和稳定时间

当您设置新温度并根据调节模式（PID 值）时，加热板的温度在稳定之前可能会超过设定点。这种超调取决于热板温度和设定点之间的差距。这种超调可以达到几度，并强烈降低您的某些 SU-8 过程。购买前询问热板的温度过冲。如果您无法获得该信息，我们建议您使用简单的高温计测量通常设定点的过冲（并检查稳定时间）。即使在购买之前通常很难知道热板的实际稳定时间和温度超调，但这些参数对于拥有良好且可重复的 SU-8 光刻工艺仍然很重要。

整个光刻热板的温度均匀性

热板的温度在整个板上保持相同的情况很少见。中心通常处于设定点温度，当走到几度的边缘时温度会降低。您需要知道或测量这种非同质性，以确保有足够的同质宽空间来放置您的晶圆。在这里，即使在购买之前通常很难知道热板的真正均匀性，这些参数对于拥有良好且可重复的 SU-8 光刻工艺仍然很重要。如果您在购买之前无法确定热板的温度均匀性，我们建议您在收到热板时使用高温计或红外摄像机检查热板的温度均匀性。

陶瓷板可以在高温 (>450°C) 下加热。它确实能耐受多种溶剂和化学产品，而且：易于清洁。但由于其导热性很弱，整个表面的温度不会真正均匀。铝板不能像陶瓷一样在高温下加热，并且对溶剂和化学产品（例如 NaOH）的耐受性较差。相比之下，由于其高导热性，整个板表面的温度比陶瓷板更均匀。对于SU-8光刻胶加工，必须优先考虑均匀性，因此铝板似乎是最好的选择。我们易于使用的解决方案：入门包！

带自动定时器的光刻热板

烘烤步骤必须在精确的时间内完成；在不使用外部计时器的情况下让内部计时器在每个步骤结束时警告用户的可能性几乎没有实际优势。一些设备提供了在预设时间结束时自动停止加热的可能性。我们经常推荐这种选项，因为它可以避免例如在并行处理多个晶圆时出现疏忽错误。此外，它允许研究人员不依赖于步骤的时间，并且在 SU-8 模具烘烤期间不必靠近热板。

可以为温和的 SU-8 烘烤进行升温

在 SU-8 光刻工艺中，稍微增加和/或降低温度的可能性很重要。事实上，SU-8 光刻胶在烘烤过程中变得非常紧密。要降低 SU-8 薄膜上的机械应力，需要稍微降低和升高温度。通过升高或降低温度，可以“手动”定期改变热板设定点。但是，此解决方案确实受到限制且不可重现。一些光刻热板提供以不同的速率加热和冷却。通常对于降低，只能通过自然冷却来减缓，因为能够有效地降低温度强加于有氮气线，控制更复杂。微流体应用。

程序光刻步骤

SU-8 微流控模具的烘烤过程通常有多个步骤，每个步骤在不同温度下处于不同阶段。能够保存这些温度步骤甚至不同的斜坡将使您的生活更简单，并让您获得可重现的高质量光刻工艺。

光刻热板的温度增量大小和精度

通常，根据设备的不同，增量为 5°C 或 1°C。请注意，温度精度直接取决于此。烘烤您的 SU-8 光刻胶强烈希望增加 1°C。几乎所有的光刻热板都提供 1°C 的温度精度，因此购买热板时应该没有问题。

安全和用户保护

当板超过特定温度（通常为 50 °C）时，大多数设备都会发出警告灯。此选项提醒其他用户设备存在危险。不过，请注意，此灯随设备一起关闭，因此请检查放置警告象形图并让其他用户意识到危险。我们不坚持这一点，因为它不考虑您最终微流体模具的质量。

光刻热板尺寸

光刻热板有不同的种类和尺寸，选择一种最适合您的需求。太大的盘子在降温过程中会产生很大的惯性。为确保良好的 SU-8 光刻工艺，选择一块比硅晶片大一点的板进行加热，以避免边缘效应导致边缘温度低于中心温度。对于英寸晶圆（直径 10 厘米），您可以使用 18 x 18 厘米的光刻热板。