半导体和加热板
用于半导体晶圆制造过程的电加热器和组件
用于存储设备、晶体管、晶体硅、微处理器、光伏 (PV) 电池和薄膜光伏电池的工业加工工具。所有这些应用都需要精明的温度知识，圣柏林 不断创新并提供对下一代设备和工艺至关重要的客户特定热解决方案。
电阻加热器在整个半导体晶圆上提供非常高水平的温度均匀性，以确保一致的质量以及高度可重复和高效的晶圆加工。铝制 6061-T6 加热器采用真空钎焊，工作温度高达 450°C，温度均匀性为 +/-1%，表面光洁度可达 2-3Ra µin。加热器可在 1000VDC 下测试高达 100 m-ohm 的绝缘，在 1-3mA 下测试 2E+1,000 或更大的耐压。
不锈钢和铬镍铁合金加热板/卡盘的温度最高可达 800°C，法兰和底板之间有陶瓷热断层。这些加热板通常焊接有三个用于压缩的配合插头，并在边缘有一个外部焊缝。它们可以使用接地的内部热电偶构建，以快速响应电阻丝以进行斜坡和高温监测。这确保了可以最大限度地减少过热电路中断，同时保持最快的反应时间以按比例降低快速升温速率。
不锈钢和铬镍铁合金加热板/卡盘的温度最高可达 800°C，法兰和底板之间有陶瓷热断层。这些加热板通常焊接有三个用于压缩的配合插头，并在边缘有一个外部焊缝。它们可以使用接地的内部热电偶构建，以快速响应电阻丝以进行斜坡和高温监测。这确保了可以最大限度地减少过热电路中断，同时保持最快的反应时间以按比例降低快速升温速率。
圣柏林优势
- 新设计和现有设计的工程支持
- 快速原型制作和机器零件
- 快速响应询价和报价
- 专有的内部元素模式
- 位于硅谷的半导体工艺加热和传感方面的专业知识
- 平整度与温度均匀性工程
- 具有一致性证书的现场介电、温度和 m-Ohm 测试
- 所有传感器、加热器和大气连接均采用真空馈通设计
- 对新设计和现有设计进行基准测试
用于半导体加工的加热器设计
- 使用 316 不锈钢护套的浸入式加热器
- 氧化铝加热器
- 铝、不锈钢和铬镍铁合金底座加热器
- 烤盘/冷冻盘
- 真空环加热器
- 烘烤/冷却基座
- 钎焊 76mm 至 300mm 加热器夹头
- 夹入式线圈加热器
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