可编程晶圆加热盘
大型圆形铣削平坦铝表面，整个加热表面的温度均匀性优于 1%。专为处理 12 英寸（304.8 毫米）直径或更小的硅晶圆以及其他需要温度精度和表面均匀性的样品而设计。
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特征
- 加热器表面直径 13.875 英寸（354.24 毫米）
- 铣削平板铝非常适合 12 英寸（304.8 毫米）或更小的硅晶圆
- 可通过 RS232 I/O 端口或通过遥控器从 PC 或工业控制器进行远程控制 提供对所有参数或数据的完全访问
- 使用提供的遥控器可在台式上进行控制和编程
- 温度范围从室温到350°C
- 可读并可设置为 1 °C
- 设定精度 1%
- 从板表面中部到侧面 0.75 英寸范围内的温度均匀性优于 1%
- 温度稳定性±1℃
- 校准至 0.1 °C 以保证精度
- 远程控制器可存储 5 个单独的程序，每个程序最多 10 个步骤，用于各种无需干预、可重复的样品运行
- 程序可自动重复 1 至 99 次，或根据需要无限重复
- 以 1 °C/小时的增量将温度从 1 °C 升高或降低到 450 °C
- 1500W加热器功率
- 机箱底部独特的温度指示灯照明环。颜色从蓝色（无目标温度）变为黄色（加热到 50 °C 以下时）再到红色（加热到 50 °C 以上时）。指示灯将闪烁直至温度稳定在 ± 0.2 °C 以内
- 内置倒计时器，带有声音警报和可设置的自动关闭功能
- 12 个月保修
- 正在等待 UL、CSA 和 CE 批准
应用领域
- 清洗硅片
- 干燥硅片
- 蚀刻硅片
- 热测试电路
- 环氧树脂耐热测试
- 焊接表面贴装 PCB
- PCB 的生命周期测试
- 测试液晶显示器
完整的产品规格
| 温度 | |
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| 铂热电阻 | 零位 100 Ω 安装在加热器顶部 |
| 范围 | 板表面10°C至350°C |
| 可读性 | 1℃ |
| 温控型 | PID |
| 温度稳定性 | 1℃ |
| 温度均匀性 | 从中心到板边缘 0.75 英寸以内的设置优于 1% |
| 电气 | |
| 加热器功率 | 1500W |
| 交流电 | 115 VAC，50/60 Hz（根据要求可提供 230 VAC） |
| 熔断器 | 是的 |
| 电源线 | 可拆卸，6 英尺（1.8 m），3 线接地。单相 |
| 尺寸：加热器模块 | |
| 宽度 | 13.875 英寸（352.4 毫米）圆 |
| 高度 | 5.75 英寸（146 毫米） |
| 重量 | 21.5 磅（9.54 千克） |
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