概述
这些加热器设计用于支撑和加热硅晶圆。它们由具有出色导热性的氮化铝 (AlN) 制成。它们与电阻加热元件共烧结，以提供出色的热均匀性，并减少金属污染。
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优点
优异的热均匀性和宽工作温度范围
这些加热器由高导热材料 (AlN) 制成，在较宽的温度范围（高达 800 摄氏度）内提供出色的热均匀性
袖珍的
电阻加热元件和体射频电极共烧结在 AlN 陶瓷中，陶瓷轴直接粘合到加热板。
高耐腐蚀性
这些加热器对卤素气体和氧化环境具有卓越的耐腐蚀性。
晶圆夹持功能
射频电极共烧结在陶瓷板中。这些电极可用作晶圆夹持的静电夹持电极。
规格
| 尺寸 | 兼容200、300和450mm晶圆 |
|---|---|
| 电源 | 100〜200V×15〜50A |
| 电极 | 镍棒/电缆通过钎焊或螺钉固定到端子上 |
| 材料 | 氮化铝 |
氮化铝材料特性
| 氮化铝 | ||||
|---|---|---|---|---|
| HA-12 | HA-37/38 | HA-50/51 | ||
| 纯度 | [%] | 95 | 99 | 99 |
| 密度 | [克/立方厘米] | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
| 体积电阻率 | [Ωcm](RT) | >1E+15 | 1E+8〜+13 | >1E+15 |
| 导热系数 | [W/mK](RT) | 170 | 100 | 80 |
| 热膨胀系数 | （RT） | 5.7(1000℃) | 5.6(1000℃) | 5.6(1000℃) |
| 强度 | [兆帕](室温) | >300 | >300 | >250 |
| 杨氏模量 | [GPa](RT) | 300 | 300 | 300 |
| 介电常数 | (13.56MHz、RT) | 8.6 | 8.8 | 8.6 |
概述 采用先进技术可生产各种形状的陶瓷元件。 |
特性
氮化铝
- 高纯度（～99.9%）
- 高导热率（~ 170W/mK）
- 高耐腐蚀性和耐等离子性
[产品]
轴、接收环
氧化铝
- 高纯度（~ 99.9%）
- 高耐腐蚀性和耐等离子性
- 形状复杂
- 大形状
[产品]
O-型圈
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