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真空加热器概述
圣柏林设计团队与客户密切合作,提供:
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CHUCK基板真空加热器
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真空加热盘+水冷盘真空加热器 我们的定制多功能系列提供完整的服务,为您提供任何应用所需的工具。 |
在圣柏林,我们为薄膜沉积和样品处理的研究和工业提供经济高效、高均匀性的晶圆加热器、真空加热器和样品加热器。我们的样品加热器可配备固定器或夹子,以固定一系列半导体晶圆或样品。 所有加热器均经过全面测试。我们的内部测试能力包括氦泄漏检查、使用真空测试系统的全温度测试以及使用 FLIR 热像仪的均匀性测试。圣柏林已通过 ISO 9001 认证。 |
圣柏林设计团队与客户密切合作,提供:
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所有加热器均经过全面测试。我们的内部测试能力包括氦泄漏检查、使用真空测试系统的全温度测试以及使用 FLIR 热像仪的均匀性测试。圣柏林已通过 ISO 9001:2015 注册。
圣柏林为所有薄膜沉积系统应用提供全系列的样品加热热台。加热器和样品可以以任何方向安装,圣柏林 系列操纵器为样品旋转、加热器旋转、样品转移和样品/加热器定位提供了经济高效的选项。
样品加热台可提供高达 1000W 的样品偏置(射频或直流),并配有温度控制器和电源。对于具有射频偏置的加热器和平台,可以提供全屏蔽和电源/热电偶线路滤波。水冷式加热器可配备冷水机。
圣柏林 专门为使用标准加热器和平台无法实现的加热应用提供定制解决方案。圣柏林 设计团队与客户密切合作,提供:
详细安装、规格和操作说明的手册
公司地址:深圳市龙华区大浪街道新围第三工业区H栋
联系电话:0755-27749405
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