300mm 晶圆加热和冷却
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在没有污染的情况下对 300mm 晶圆进行经济有效的加热和冷却是极其困难的。圣柏林开发了 300 毫米晶圆预热和后冷却站，可提供出色的温度均匀性、快速加热和冷却以及行业领先的背面污染。 我们具有成本效益的模块使用可靠的电阻加热元件，可实现优于 2°C 的均匀性，并在 15 秒内加热至 450°C。 该模块具有极低的背面金属和颗粒污染，对于 300 mm 晶圆生产至关重要。
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可选的冷却板可以集成在相同的占地面积中，以提供非常紧凑且易于连接的单元。 作为一种选择，工艺气体可以引入热加工室和冷加工室。 晶圆销举升机构集成到热压板和冷压板中，以方便晶圆传输。 该模块可以作为独立单元使用，也可以通过符合 BOLTS 标准的接口进行集成。标准控制接口可以是以太网或串行接口，也可以根据您的要求进行定制。 |
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技术细节 |
适用性 |
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清洁度 |
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界面
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