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基材加热专家

加热器阶段

在圣柏林,我们为处于真空炉行业的前沿而感到自豪。我们的定制多功能系列提供完整的服务,为您提供任何应用所需的工具

水冷和气冷

圣柏林为所有沉积系统应用提供全系列的热台样品加热器。圣柏林在我们的加热器阶段提供的一个重要功能是水冷却,它具有许多优点,包括:

  • 与客户系统集成
  • 规定的压力和流量以确保充分冷却
  • 适用于所有类型的加热器,包括旋转加热器头
  • 与样本偏置一起使用
  • 冷却电源馈通以允许更高的电流
  • 减少腔室和其他设备的热负荷
 

水冷加热器可以以任何方向安装,并与我们全系列的机械手和偏置系统一起使用。圣柏林还根据需要为冷水机提供我们的水冷级。

如果需要快速冷却样品,圣柏林提供气体冷却选项。惰性气体流过样品以快速冷却,从而缩短处理时间。我们与客户合作,为您的应用提供合适的阀门和配件。

图表显示了带有气体冷却的热边缘加热器台的实际数据。红线显示不存在气流的阶段冷却曲线。蓝线显示气冷剖面。随着气体的流动,加热器需要 4 分 10 秒才能达到安全排气温度(此阶段为 300°C)。在没有气流的情况下,大约需要 20 分钟。
 

 


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