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半导体行业的绝佳选择夹式线圈加热器在 350°C 时提供 +/-1.5°C 的出色温度均匀性（有关更多详细信息，请参阅斜坡温度与时间图）。目前外形尺寸为 200mm 的装置由 圣柏林 设计，负责在 150mm 和 200mm 硅基板上均匀地加工 2um 介电层的半导体晶圆。两种尺寸的晶圆都直接放置在坚硬的透明阳极氧化表面上。硅晶圆上的 2um 介电层没有任何图案化的迹象，而其他加热器卡盘通常会出现这种情况。此外，无需钎焊或铸造即可实现这一点，从而降低了原型的成本和交货时间 |
特征
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客服1